1  主轴系统位于设备的下方，由电机通过窄 V 带拖动，采用最短的传动 链保证了其运转精度,  下盘采用高精度轴承定位支撑，运转刚度和精度都得 到了良好的保障，下盘轴下部装有旋转接头，用于下盘内通冷却水，下盘冷却 水流量可通过电动阀比例调节.

2  PP 抛光头位于设备的上部，PP 头的升降及加压由气缸实现，四个 PP 头的升降及加压均单独控制；PP 头可主动旋转，单独控制；PP 头具备真空吸 附功能，可将陶瓷盘快速提起。

3 在设备的上部箱体正面设有主操作面板，可进行参数设定，运行监控等 功能，在上箱体的两个侧面分别设有小操纵板用于四个 PP 头的升降操作；

4 抛光液、冷却水、清洗水及气路等从设备的后部引入；

5 在下盘的外侧设有可滑动的防护罩，可防止工作液的飞溅，减少有害 气体的溢出；

6 设备具有水液分离机构，可实现抛光液及水的自由切换；

7 在下抛盘中间设有可升降的一个中间导轮装置，在接液盆边缘部位设有 四个外导轮装 置，二者配合可实现工件盘的自动定位；

8 在横梁上装有红外测温装置，用于下盘盘面温度的监测；

9 抛光液流经或可能会接触到的地方均采用不锈钢材料或耐腐蚀非金属材 料制作或进行 特殊的防腐处理，液桶采用透明 PVC 或不锈钢制作 (按客 户需求定) ，抛光液管路采用洁净 PVC 制作，满足强酸强碱强氧化剂的 使用环境。

10 具有自动冲水装置，PP 头将陶瓷盘提起后，可自动对工件或 PP 头进

行喷水冲洗 (选 配)；

11 界面密码分级管理，可根据不同权限设置；

12 历史数据 (温度、压力、转速、时间等) 可导出。