晶体单面抛光机

DM520-4A

• 设备尺寸：2250× 1 4 2 0 ×2700mm
• 设备重量：约5500kg

本机主要用于砷化镓、硅片、碳化硅、蓝宝石片、锗片、铌酸锂、玻璃等硬脆材料，平行平面的单面高精高效率抛光。该机采用触摸界面及PLC 控制。为用户提供开放式的图形操控界面，充分发挥机械硬件性能；该机主传动具有传动链短、稳定可靠等特点：四约5500kg个PP头压力单独控制，单独驱动， 下盘采用循化冷却水强制冷却， 温度控制精确。

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